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micromachining

1 . Mechanism, characteristic and application of excimer laser micromachining are introduced.

介绍了准分子激光微加工的机理 、 特点和应用.

2 . Objective To establish direct - write laser method for micromachining immunoassay microfluidic chip.

目的建立微流控芯片的CO_ 2激光直接微加工方法.

3 . A fabrication process has been developed to a polymer micro tip arrays using micromachining .

采用微加工工艺制备出一种聚合物微锥阵列.

4 . The paper introduces pulsed laser micromachining and its application in microelectromechanical systems ( MEMS ).

介绍了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS ) 加工中的应用.

5 . Silicon integrated thin film microelectrode based electrochemical sensor devices has been fabricated using silicon micromachining techniques.

研究讨论了硅一体化微机械结构型薄膜微电极电化学传感器件的稳定性及其相关的电化学问题.

1.微切削加工

1 . 显微机械加工

LIGA一直沿用到现在,在显微机械加工(MicroMachining)和微电子机械系统(MEMS,MicroElectroMechanical Systems)方面都得到了广泛的应用。 2.软性平板印刷(Soft Lithography.

2 . 精密加工

图文 ●精密加工(Micromachining) ●激光测量(Metrology) ●科研(Fundamental study) 本产品刚一面世就得到业内人士的青睐,附件有相关产品的参数表,实验室如有需要,欢迎.

3 . 微细加工

1.3电化学微细加工技术电化学微细加工(EMM:ElectrochemicalMicromachining)包括向工件上沉积金属的电镀、涂覆加工(又称“增材”)和从工件上去除金属的电解加工(又称.

4 . 微机械加工

Development Survey of the Micromachining Technology微机械加工技术发展概况一

1 . 表面微

sensor is a capacitive transducer constructed using surface micromachining ., 传感器是使用电容式传感器的表面微构造.

1 . 体微加工

在一般的实践中，把工艺划分成体微加工（bulk micromachining），其工艺特点是在衬底中进行深刻蚀；表面微加工（surface micromachining），其工艺特点是去除薄膜结构下的牺牲层，以释放能够活.

2 . 体型微细加工

本文所制作之微机械滤波器，具有两端固定悬臂梁结构，并且整合微机电制程中的体型微细加工（bulk micromachining）和溶胶-凝胶（sol-gel）法制作PZT（锆钛酸铅）薄膜两种技术而完成的。

1 . 电容式微机械

design of upper limit of measurement range on capacitive micromachined accelerometer ., 电容式微机械加速度计测量范围上限设计.

1 . 激光微型工

laser memory 激光存储器laser micromachining 激光微型工laser microscope 激光显微镜

2 . 激光存储器

4. 激光微型工激光存储器laser micromachining激光显微镜s